製品情報

エレクトロニクス関連製品

スパッタリングターゲット材/スパッタリング用バッキングプレート材

三菱マテリアル社と協力し、液晶パネル・PDP配線の高純度銅ターゲット材、スパッタリング用バッキングプレート材に取り組んでいます。

スパッタリングターゲット用標準材料
OFC,DC,TC
特長
世界最高レベルの高品質純銅。高導電用途。放熱性高い。
ALLOY GUIDE
高導電銅合金
TAMAC4
特長
リードフレーム分野で広く使われている材料。導電率85%IACS以上を保ちながら、無酸素銅やTAMAC2より高強度、耐熱性に優れます(平条および異形条で使用されています)。
ALLOY GUIDE
耐熱高導電銅合金
MZC1,C151,ZC
特長
導電率および耐熱性が高く、高強度を保持可能。熱伝導率が高いため、ターゲットを効率よく冷却可能。
ALLOY GUIDE
銅ターゲット

用途例

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